キヤノン、毎時400枚処理のKrF露光装置を発表

原典とのAI照合を通過 ／ 短報

キヤノンは、毎時400枚のウエハーを処理するKrF露光装置「FPA-6400ES6a」を発表し、2026年12月に日本で発売する予定です。

本記事の収集・日本語化・構成にはAIを使用しています。機械による照合と人による確認は区別して表示しています。企業が発表した性能・実績は発表元の主張であり、本紙による実機検証を意味しません。原典もあわせてご確認ください。