何が起きたか

ニコンは2026年7月29日、アライメントステーション「Litho Booster 1000」を2027年1月に発売すると発表した。同製品はウエハーのひずみを詳細に計測し、重ね合わせ精度を向上させる。ウエハーホルダーの構造改善により、計測精度が従来比で約35％向上した。

なぜ重要か

対象は、三次元積層やWafer to Wafer接合で、反りやゆがみのあるウエハーでも高い重ね合わせ精度を求める半導体製造です。ニコンによると、新製品は保持機構の見直しで計測時の誤差を抑え、従来比約35％高い計測精度でウエハー全体のひずみを詳しく測れるため、接合前に補正へ使える点が重要です。