何が起きたか

Lam Research Corp.は2024年12月10日、半導体業界初の協働ロボットDextroを発表した。Dextroはウェハ製造装置の重要なメンテナンス作業を高精度で実行し、ツールのダウンタイムと生産ばらつきを最小化する。現在、複数の先端ウェハ工場で導入されている。

なぜ重要か

半導体工場で装置保全を担う技術者やエンジニアにとって、Dextroは手作業では誤差が出やすい締め付けや清掃を高精度で繰り返せる点が要点です。Lam Researchは、工具の停止時間と生産ばらつきを抑え、補修のやり直しを減らす狙いだと説明しています。