Lam Research、ウェハー製造装置メンテナンス用コボット「Dextro」を発表

何が起きたか

Lam Researchは、ウェハー製造装置のメンテナンス作業を最適化する協働ロボット「Dextro」を発表した。同社カスタマーサポート事業グループのゼネラルマネージャー、ラッセル・ドーバー氏はEE Timesのインタビューで、Dextroは同種のコボットとしては初めてだと述べた。

詳細

Dextroは、ファブエンジニアと一緒に作業するように設計された移動式ユニットで、ロボットアームと各種エンドエフェクタを備え、時間がかかり手作業ではエラーが発生しやすい重要なメンテナンスタスクを処理する。例えば、消耗部品の設置と圧縮を手作業の2倍以上の精度で行うことができ、ウェハーエッジのエッチング性能を制御し、歩留まりを向上させる。 ドーバー氏は、エッチングツールは材料をエッチングするだけでなく、それ自体もエッチングされるため、メトロロジーツールよりも頻繁なメンテナンスが必要だと説明した。また、メンテナンスは高価値の問題であり、チャンバーの分解・再組み立てが生産性能に影響を与えると述べた。 Dextroは、真空シール用の高精度ボルトを締め付ける作業も可能で、手作業では最大5%のエラー率がある反復作業からエンジニアを解放する。また、下部チャンバーを分解せずにチャンバー内の側壁ポリマー堆積物を除去でき、重い保護呼吸装置を必要とする作業のリスクを低減する。 Dextroは、各チャンバーに移動してメンテナンスを行うように設計されており、複数のチャンバー間で共有できる。開発中は、複数のエンドエフェクタと多様なプログラミングを使用して異なるタスクを達成することに焦点を当てた。移動ユニットであるため、チャンバーに物理的にドッキングし、ロボットとエンドエフェクタのキャリブレーションが必要で、ビジョンシステムを含むロボットプログラミングの堅牢性を開発する必要があった。

Key Facts

なぜ重要か

Dextroは、半導体製造におけるメンテナンスの自動化と精度向上を目指すもので、ツールのダウンタイムと生産変動を最小限に抑え、歩留まり向上に貢献する可能性がある。同社は、メンテナンスの自動化への需要があるとしている。