何が起きたか

Infineon TechnologiesはオーストリアのVillachにあるClass Iクリーンルーム生産を自動化するため、宇宙飛行士の作業用に開発された7軸ロボットアームを採用した。選択されたKukaのLBR iiwaは、エンドオブアームツールの任意の位置でロボットアームを移動できる。現在、Infineonの工場では17台のLBR iiwaがウェーハ搬送に使用されている。

詳細

KukaのLBR iiwaは、7軸目によりロボットアームをエンドオブアームツールの任意の位置で移動できる。ロボット会社の電子産業マネジメント地域リードであるCarlos O'Farrill氏はEE Timesに対し、このアームの移動は、動作経路でロボットの軸が機械的限界に達する特異点やロックアップのリスクを排除するために重要だと述べた。 現在、Infineonの工場では17台のLBR iiwaが、200mmまたは300mmウェーハを収納したカセット入りコンテナを、成膜、イオン注入、エッチング、測定など1,000以上の工程を通して搬送している。 7軸目はロボットアームの「肘」にあり、複雑な軌道を可能にし、工場やファブ内の狭いスペースでの使用を可能にする。Kassow Robotsのグローバルサポート・アプリケーションエンジニアであるWallison Pires氏は、7軸によりソリューションやアプリケーションの設計に大きな柔軟性がもたらされ、オペレーターとの接触を最小限に抑える場所にコボットを配置できるため、アプリケーションの安全性向上にも役立つと述べた。 Kassow Robotsはスタートアップで、創業者兼CEOのKristian Kassow氏は2005年にUniversal Robotsを設立した3人のうちの1人である。Kassowの5つのロボットモデルはすべて7軸で、最新モデルはKR1805である。

Key Facts

Infineon TechnologiesはオーストリアのVillachにあるClass Iクリーンルーム生産を自動化するため、KukaのLBR iiwaを採用した。[1]
LBR iiwaは宇宙飛行士の作業用に開発された7軸ロボットアームである。[1]
7軸により、エンドオブアームツールの任意の位置でロボットアームを移動できる。[1]
Carlos O'Farrill氏は、アームの移動は特異点やロックアップのリスクを排除するために重要だと述べた。[1]
Infineonの工場では17台のLBR iiwaが、200mmまたは300mmウェーハを収納したカセット入りコンテナを搬送している。[1]
ウェーハは成膜、イオン注入、エッチング、測定など1,000以上の工程を通して搬送される。[1]
7軸目はロボットアームの「肘」にあり、複雑な軌道と狭いスペースでの使用を可能にする。[1]
Wallison Pires氏は、7軸により設計の柔軟性と安全性が向上すると述べた。[1]
Kassow Robotsの創業者兼CEOはKristian Kassow氏で、2005年にUniversal Robotsを設立した3人のうちの1人である。[1]
Kassow Robotsの5つのロボットモデルはすべて7軸で、最新モデルはKR1805である。[1]

なぜ重要か

7軸ロボットは、製造業において複雑な軌道と狭いスペースでの使用を可能にし、特異点やロックアップのリスクを低減することで、生産効率と安全性を向上させる。Infineonのような半導体メーカーでの採用例は、7軸ロボットが高度な製造環境で実用性を持つことを示している。