Daniel Gliksberg

収録論文 1本 ・ フィジカルAI/ロボット学習

※arXiv著者名で収集。同姓同名の別人の論文が含まれる場合があります。

論文

• 軟質薄膜向けその場光学計測を備えたスピンコーターの設計と製作
  薄膜製造/計測2026/6/1

  低コストで主に3Dプリント製のスピンコーターに、レーザー反射と象限フォトディテクタを用いた非接触の膜厚計測を統合し、軟質薄膜の厚さを高精度に管理できるシステムを開発した。