何が起きたか

NTTは、AIと自動化技術を活用し、薄膜成長を自律的に最適化する「解釈可能な自律成膜」を実証したと発表した。この技術により、成膜・評価サイクルを従来の約3倍に高速化し、β-Ga₂O₃の単結晶薄膜の作製に成功した。

なぜ重要か

NTTが実証したのは、成膜後の評価結果をもとに次の条件を自動で決める仕組みと、温度や酸素流量の調整順を人が使える形で整理した点です。研究者にとっては、β-Ga₂O₃薄膜の条件探索を速めるだけでなく、別の条件検討にも転用しやすい知見を得られることが重要です。